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技术文章
高精度光栅尺的工作原理及应用
点击次数:861 发布时间:2016-07-25 返回
一、高精度光栅尺是什么?
定义: 光栅尺位移传感器(简称光栅尺),是利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置。
光栅尺位移传感器经常应用于机床与现在加工中心以及测量仪器等方面,可用作直线位移或者角位移的检测。其测量输出的信号为数字脉冲,具有检测范围大,检测精度高,响应速度快的特点。
二、高精度光栅尺的分类、构造
1)高精度光栅尺分类:
光栅尺位移传感器按照制造方法和光学原理的不同,分为透射光栅和反射光栅。
透射光栅指的玻璃光栅
反射光栅指的钢带光栅
2)高精度光栅尺结构:
高精度光栅尺位移传感器是由标尺光栅和光栅读数头两部分组成。标尺光栅一般固定在机床活动部件上,光栅读数头装在机床固定部件上,指示光栅装在光栅读数头中。
三、高精度光栅尺的工作原理及应用
常见光栅的工作原理都是根据物理上莫尔条纹的形成原理进行工作的。 (关于莫尔条纹的原理,可参考相关文献) 简单的说:光读头通过检测莫尔条纹个数,来“读取”光栅刻度,然后再根据驱动电路的作用,计算出光栅尺的位移和速度。相比例如软件测量的方式,光栅尺读数测量具有更高的精度。
我司zui近推出的一款DMH0745Scan测量显微镜就是利用光栅尺的工作原理来实现大尺寸器件在显微镜下的精密测量的。
四、高精度光栅尺的维护
1)尽可能外加保护罩,并及时清理溅落在尺上的切屑和油液,严格防止任何异物进入光栅尺传感器壳体内部。
2)定期检查各安装联接螺钉是否松动、定期使用干燥的洁净布擦拭表。
3)光栅尺位移传感器严禁剧烈震动及摔打、踩踏,以免破坏光栅尺,如光栅尺断裂,光 栅尺传感器即失效了。
4) 不要自行拆开光栅尺位移传感器,更不能任意改动主栅尺与副栅尺的相对间距,否则一方面可能破坏光栅尺传感器的精度;另一方面还可能造成主栅尺与副栅尺的相对摩擦,损坏铬层也就损坏了栅线,以而造成光栅尺报废。
5) 应注意防止油污及水污染、硬物划伤光栅尺面,以免破坏光栅尺线条纹分布,引起测量误差。
6) 高精度光栅尺位移传感器应尽量避免在有严重腐蚀作用的环境中工作,以免腐蚀光栅铬层及光栅尺表面,破坏光栅尺质量。 
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